Рентгеновский дифрактометр PANalytical XPert³ MRD (XL)

Уникальный рентгеновский дифрактометр модульной конструкции для научных исследований и промышленности
X’Pert³ MRD (XL)
(Multi-Purpose Research Diffractometer).

В этой модели многоцелевого дифрактометра исследовательского класса используется горизонтальный гониометр высокого разрешения.

Модульная конструкция

Размещение оптических модулей спроектировано на уникальной разработке PANalytical – платформе PreFIX (Pre-aligned Fast Interchangeable X-ray modules) с жесткой стабилизацией позиции.

Не имеющая аналогов платформа PreFIX с использованием технологий прецизионной механики позволяет производить смену оптических модулей максимально быстро (за время не более 20-50 сек) и без дополнительной юстировки. Таким образом, в одном дифрактометре обеспечивается возможность без труда проводить измерения порошков, моно- и поликристаллов, полупроводников, пленок, поверхностей и т.д. последовательно, просто заменив соответствующую приставку без последующей утомительной юстировки.

Нет необходимости покупать новую систему для новой задачи – необходимо просто закупить соответствующие модули (приставки) и установить на платформу PreFIX. Вы получаете фактически “новый” прибор, не имеющий ограничений относительно полноты и/или чувствительности анализа!

Возможна установка температурной камеры также в виде модульной приставки для PreFIX.

Области применения:

• дифрактометрия высокого разрешения
• анализ текстуры и напряжений
• анализ кривых качания, оценка совершенства упорядоченных структур
• построение карт обратного пространства эпитаксиальных пленок и слоев
• рефлектометрия
• наноисследования, малоугловое и широкоугловое рассеяние рентгеновских лучей SAXS (Small angle X-ray scattering) и WAXS (Wide angle X-ray scattering)
• анализ тонких и очень тонких нанопленок
• фазовый анализ с высочайшей скоростью и точностью, метод Ритвельда
• дифракция в плоскости (in-plane дифракция)
• анализ монокристаллов и др.

Уникальные возможности:

• система для измерений дифракции в плоскостях решетки, перпендикулярных типовой плоскости
• extended-позиция – удлиненное плечо первичной оптики гониометра для получения максимального разрешения и интенсивности в параллельно-лучевой геометрии с рентгеновским параболическим зеркалом и любым из монохроматоров Бартеля
• вторичная оптика для анализа тройных осей (анализатор), кривых качания, карт обратного пространства и т.п. – система для анализа с высочайшей разрешающей способностью полупроводников, эпитаксиальных высокоупорядоченных пленок, в т.ч. очень тонких

Специальная модель X’Pert³ MRD (XL) позволяет исследовать объекты большой площади, такие как полупроводниковые пластины диаметром до 300 мм. Устройства автоматической подачи образцов позволяют использовать дифрактометр для поточного анализа – экспресс-контроля производственных процессов, аттестации и сертификации продукции.

Краткое описание дифрактометров X’Pert PRO MRD:

• вариант гониометра ?-2?, горизонтальный, высокого разрешения
• возможность установки рентгеновского зеркала и монохроматора высокого разрешения на расширенном плече первичной оптики
• высокоточная система прямого оптического отслеживания позиции гониометра (DOPS)
• фабричная калибровка оптических модулей и держателей образцов обеспечивает их смену без дополнительной подстройки
• использование уникальных рентгеновских 2-фокусных трубок
• применение быстродействующих детекторов PIXcel и PIXcel3D, а также классические детекторы

Рентгеновские трубки PANalytical собственного производства запатентованной конструкции не имеют аналогов в мире:

• в одной трубке возможно использование различных фокусировок рентгеновского пучка – 2 выходных Ве-окна
• возможность выполнять на одном дифрактометре анализ используя линейный фокус рентгеновской трубки, а также в точечном фокусе
• время смены фокуса трубки, замена на трубку с другим анодом – не более 1-2 минут путем поворота трубки не нарушая юстировки, без отключения охлаждения
• большой выбор анодов – Cr, Mn, Fe, Co, Cu, Mo, Ag, по выбору заказчика, оптимальны при использовании в геометрии ?-2?, ?-?
• улучшенная изоляция из металлокерамики (патент), значительно продлевает жизненный цикл трубки

Революционная технология уникального детектора PIXcel:

• твердотельный детектор 2-го поколения, разработанный для традиционных и специальных задач рентгеновской дифрактометрии
• состоит из 65 000 чувствительных элементов (пикселей), размер каждого из которых составляет 55 x 55 мкм
• все чувствительные элементы имеют индивидуальные циклы счетной загрузки, что обеспечивает динамический диапазон счета более 100 000 000 имп/сек для каждой линии пикселей
• использование детектора PIXcel не требует установки аттенюатора, использование в комбинации с монохроматорами обеспечивает запись дифрактограмм с отношением пик/фон более 10⁷

Программное обеспечение позволяет управлять всеми системами прибора и обладает максимальным набором функций для обработки данных, расчетов, построения графиков, карт и моделей. Набор пакетов программного обеспечения X’Pert Software обеспечивает выполнение всех возможных видов анализа и проведения исследований:

• X’Pert Data Collector – программный модуль для управления дифрактометром, задания параметров измерений, сбора данных
• X’Pert HighScore и HighScore Plus – пакет программ для идентификации фаз в многофазных смесях с использованием современных алгоритмов, содержит дополнительные программы кристаллографического и фазового анализа с использованием метода Ритвельда
• X’Pert Stress и Stress Plus – для анализа остаточных микро-макро напряжений в объемных образцах, поликристаллических покрытиях и напылениях
• X’Pert Texture – анализ, расчет, визуализация ориентации кристаллитов в поликристаллических материалах, включая специальные 3D режимы графических отображения полюсных фигур и ориентации функции распределения
• X’Pert Epitaxy и X’Pert SmoothFit – для анализа полупроводников, эпитаксиальных пленок, карт обратного пространства, кривых качания, с использованием симуляции и автоматической подгонки измеренных кривых;
• X’Pert Reflectivity – программа для анализа толщины кристаллических и аморфных пленок, оценка качества поверхности
• X’Pert Industry (включая X’Pert Data Collector) – пакет программ для промышленности, для проведения рутинных измерений и обработки данных
• X’Pert Quantify – количественный фазовый анализ, измерение, обработка и вывод результатов, с использованием известных аналитических моделей